Alpha-SE

Especificações

Aplicações

Filmes Dielétricos: Com medições rápidas e operação ao pressionar botões, o alpha-SE® é ideal para qualificar filmes finos. Dielétricos de uma camada sobre substratos de silício ou vidro podem ser medidos em segundos. Registre resultados para fáceis comparações em formas tanto de gráfico quanto de tabela.

Monocamadas automontadas: A informação de fase de uma medição de elipsometria espectroscópica é altamente sensível a camadas muito finas (<10 nm). Monocamadas automontadas podem ser avaliadas e comparadas rapidamente usando o alpha-SE.

Filmes absorventes:  Modelos avançados fornecem regressões rápidas e eficientes para uma ampla gama de materiais com que você possa lidar.

Revestimento em Vidro: Uma tecnologia patenteada permite realizar medições em qualquer substrato: metal, semicondutor ou vidro. Em substratos transparentes, o alpha-SE® mede a despolarização para compensar a luz que retorna do lado posterior do substrato. Esta luz indesejada pode confundir outros elipsômetros, mas o alpha-SE® garante constantes ópticas precisas.

Opções

Ópticas de Focagem®

Modelo (em Base Angular Fixa ou Automática)

Diam. de raio V, VI 220 μm

Diam. de raio U, UI, D, DI 300 μm

Diam. de raio X, XI 120 μm 

Câmera

Adicione uma câmera aos sistemas M-2000 com a opção de ponto focal para visualizar a área de medição. O raio propriamente dito pode não ser visível em superfícies lisas, mas a localização pode ser identificada com base na localização de referência. A opção com câmera inclui uma câmera CCD de 3 Mpixel, um conjunto de lentes e equipamento de iluminação.

• Ampliação 3x
• Campo de Visão: 2.1 x 1.6 mm
• Distância funcional: 77 mm
• Zoom digital: até 8x

 Alinhamento de Amostras Automatizado

Alinhamento de Amostras completamente automatizado (ajustes de inclinação e de altura z)