Cantilevers Térmicos
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Cantilevers Térmicos

Heidelberg Instruments Nano

Os cantilevers térmicos são o cerne do NanoFrazor, com sua tecnologia advinda do projeto Millipede da IBM. As sondas possuem uma ponta aquecível, um mecanismo rápido e preciso de ativação eletrostática permitindo padronização 3D, e um sensor de topografia integrado para metrologia in situ. Atualmente, oferecemos Cantilevers de Alta Potência para uso no NanoFrazor Explore. Designs adicionais de cantilevers estão sendo desenvolvidos em colaborações com vários parceiros. Eles permitirão padronização em substratos não-condutores e melhoram a performance através do uso de séries de pontas.

Cantiléver de Alta Potência

  • Baseado na tecnologia Millipede da IBM
  • Pontas de silício ultra afiadas
  • Dois micro-aquecedores integrados (sensor de topografia e aquecedor de ponta)
  • Sensor de topografia para medir a distância até a superfície com resolução sub-nm via troca de calor através do ar.
  • Ativação eletrostática rápida e precisa via a peça de trabalho
  • Fabricação em wafers completas mantém baixo o custo por cantiléver
  • Fácil troca manual de cantiléver sem ferramentas adicionais.

Cantiléver com Eletrodo no Lado Posterior

  • Mesmo material que o cantiléver de alta potência
  • Permite padronização em substratos eletricamente isolados
  • Não requer contato à peça de trabalho

Características

Raio da Ponta

< 10 nm

Altura da Ponte

700 nm

Constante Elástica

0.25 N/m

Frequência de Ressonância

100 kHz

Tamanho dos microaquecedores

4 µm x 2 µm x 0.4 µm

Faixa de temperatura dos microaquecedores

20° - 1000 °C

Constante de tempo térmico dos microaquecedores

6 µs

Resolução do sensor de topografia

0.1 nm

Largura de banda do sensor de topografia

150 kHz

Troca e calibração de cantilevers

< 1 minuto

 

Imagens

 

Prato Coador: Semelhante ao prato de zona de Fresnel, um coador de fótons foca a luz para focagem de raios X, aplicações astronômicas para superfocagem com resoluções espaciais além do limite de difração. (design do prato coador cortesia de Adam Jeff, CERN)