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Alpha 2.0
J.A. Woollam
O alpha 2.0 é uma opção econômica para medições de rotina de espessura de filme fino e índice de refração.
Um design compacto e simples torna o alpha 2.0 fácil de usar, enquanto aproveita o poder da elipsometria espectroscópica. Foi projetado para facilidade de uso: basta colocar a amostra na plataforma, escolher o modelo que corresponde ao seu filme, clicar em "medir" e você terá resultados em segundos.
Aplicações
Filmes TransparentesMonocamadas Auto-Montadas
Filmes Absorventes
Materiais:
• a-Si
• poli-Si
• Carbono tipo diamante
• Materiais orgânicos
• Filmes LED orgânicos
• SiC
• Fotorresistente
• Filtros de cor de exibição
• Metais
Modelos:
• Lorentz
• Gaussiano
• Drude
• Tauc-Lorentz
• B-Spline
Recursos
Tecnologia Dual-Rotation™
O alpha 2.0 está equipado com a tecnologia de elipsometria Dual-Rotation, apresentando um compensador rotativo na unidade de fonte e um analisador rotativo na unidade de detector. Esta tecnologia fornece acesso a medições de alta precisão e matriz de Mueller em um único ciclo óptico.
Sistema de Detecção CCD
O alpha 2.0 usa um detector CCD para medição simultânea de 190 comprimentos de onda. Isso permite a medição de 400 nm a 1000 nm em menos de um segundo.
Compacto
Tudo contido em um pequeno pacote para caber facilmente em sua bancada. Conexão fácil ao seu computador via USB.
Alinhamento Automático
O alinhamento é integrado à rotina de aquisição de dados. Alinhamento de tradução Z automatizado para fácil aquisição de dados. Basta colocar sua amostra na plataforma e o Alpha 2.0 faz o resto.
Software CompleteEASE®
CompleteEASE é o software de elipsometria líder mundial. Inclui modelos pré-construídos para iniciantes, recursos abrangentes de medição e recursos avançados de análise de dados.
Especificações
Configuração do Sistema (em ordem)• Fonte de luz
• Polarizador fixo
• Compensador rotativo
• Amostra
• Analisador rotativo
• Analisador fixo
• Espectrômetro e detector
Ângulos de Incidência
• Ajuste manual
• 65°, 70°, 75° (fora da amostra)
• 90° (direto)
Faixa Espectral
• 400nm a 1000nm (190 comprimentos de onda)
Fonte de Luz
• Halogênio de Tungstênio de Quartzo (QTH)
Taxa de Aquisição de Dados
• 5-10 segundos para espectro completo (típico)
Diâmetro do Feixe
• Focado, <1 mm.
Tamanho da Amostra
• Diâmetro máximo da amostra: 200 mm
• Espessura máxima do substrato: 11 mm (65° AOI), 16 mm (70° AOI), 21 mm (75° AOI)
Quantidades Mensuráveis
• Elipsometria: ? (0°-90°) e A (0°-360°)
• Intensidade: % Transmissão e % Reflexão
• Despolarização: % Despolarização
Matriz de Mueller: 11 elementos normalizados da Matriz de Mueller (normalizados para m11). Útil para amostras que são anisotrópicas e despolarizantes.
Precisão Típica
• Medição direta do feixe vazio, atendida por 98% dos comprimentos de onda de 400nm a 1000nm com tempo de média de dez segundos:
? = 45°± 0,2
A=0°±0,2
Repetibilidade Típica
• Trinta medições consecutivas de óxido nativo (nominalmente 2nm) ou óxido térmico (nominalmente 25nm) em silício com um sistema aquecido a 70° de ângulo e média de dez segundos com amostra fixa:
?thickness <0,01nm
