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µExposer
Mutech Microsystems
A Mutech oferece projetos, sistemas e equipamentos para a promoção da ciência, tecnologia e educação nas áreas de microfabricação, micro e nanomecânica e eletrônica. A empresa está interessada em promover, através do desenvolvimento e comercialização de equipamentos de alta tecnologia, a formação de recursos humanos de qualidade, simplificar a geração de novos conhecimentos e melhorar o acesso do setor produtivo a novas tecnologias.O µExposer é um sistema de exposição UV de alto valor projetado para aplicações de microfabricação. Ele permite ao usuário realizar processos de litografia rápidos em amostras e substratos. O sistema consiste em uma fonte de luz LED paralela UV de 365 nm e uma bandeja deslizante onde você pode colocar sua máscara de fotolitografia e amostra para expor. Uma variedade de suportes personalizados e customizações podem ser fornecidos para sua aplicação.
Aplicações
O microExposer é um sistema robusto (estrutura de corpo todo em metal), especialmente projetado para fácil utilização, baixos requisitos de manutenção e fabricação rápida de dispositivos de camada única. Suportes de amostras personalizados podem ser encomendados para substratos e amostras especiais, como substratos não planos ou flexíveis. O microExposer é ideal para dimensionar da fabricação em laboratório para produção comercial de baixo volume.
Recursos
• Fonte de luz baseada em LED de longa duração• Óptica de luz paralela
• Comprimento de onda de 365 nm
• Até bolachas de 4 polegadas podem ser expostas
• Navegação baseada em contexto com botões e um codificador rotativo
• Muito robusto e fácil de usar
• Altamente personalizável para cenários de uso específicos
Especificações
| Óptica | |
| Comprimento de onda | 365±5nm |
| Tempo de exposição | 0.1 - 100 s |
| Área de exposição | 100mm de diâmetro |
| Densidade de potência | 0.2 - 20 mW/cm^2 |
| Homogeneidade | < 5% |
| Divergência da luz | < 2° |
| Mecânica | |
| Tamanho | 220x230x320 mm |
| Peso | 9kg |
| Potência | 110v/220v 50w |
