VASE

Aplicações

Revestimentos Ópticos

A elipsometria desempenha um papel eficaz tanto na fase de projeto quanto na fase de fabricação de revestimentos ópticos. Revestimentos antirreflexo, filtros de entalhe e pilhas de filmes altamente reflexivos são todos exemplos de sistemas de materiais compostos por filmes de alto/baixo índice. As propriedades ópticas e a espessura de cada camada em uma pilha de revestimento desempenham um papel fundamental na determinação do desempenho de uma pilha de revestimento dentro de uma determinada faixa de comprimento de onda.


Filmes Absorventes Finos

A capacidade de ângulo variável do VASE permite a caracterização de filmes metálicos finos. Medições de intensidade de transmissão são facilmente adquiridas com o VASE. A análise simultânea de dados de elipsometria e intensidade de transmissão permite a caracterização de filmes metálicos muito finos, não opacos, com menos de 50 nm de espessura, incluindo grafeno, TiN, Au e muito mais.


Semicondutores

A elipsometria é altamente sensível à rugosidade da superfície e às camadas de óxido que crescem naturalmente na maioria dos semicondutores. Além disso, o bandgap óptico, as transições eletrônicas e os pontos críticos podem ser determinados para materiais semicondutores a granel e de filme fino, como GaN, InP, SiGe, CdTe, etc. A cristalinidade e a composição da liga também podem ser determinadas monitorando a forma e a posição do comprimento de onda dos pontos críticos.


Estudos de Líquidos

Células líquidas permitem o estudo in situ e em tempo real de superfícies sob ambientes líquidos variáveis. Estudos típicos incluem fixação de proteínas, taxas de corrosão de fotorresistentes e crescimento de óxido por eletrólise. As propriedades ópticas dos líquidos também podem ser determinadas com precisão usando o VASE com nossa célula de prisma líquido por meio de experimentos de desvio mínimo.

Recursos

Máxima Precisão de Dados

O VASE apresenta um analisador rotativo combinado com nosso AutoRetarder® patenteado para precisão de dados incomparável.


Seleção de Comprimento de Onda de Alta Precisão

Nosso monocromador de varredura personalizado é projetado especificamente para elipsometria espectroscópica, otimizando velocidade, precisão do comprimento de onda e taxa de transferência de luz, enquanto controla automaticamente a seleção do comprimento de onda e a resolução espectral.


Medições Flexíveis

O VASE apresenta uma montagem de amostra vertical e um estágio de vácuo para acomodar uma grande variedade de geometrias de medição, incluindo reflexão, transmissão e espalhamento.


Faixa de Comprimento de Onda Estendida

O VASE oferece várias combinações de detectores, incluindo nossa mais recente extensão 4IR, que permite medições de até 4000 nm, mostrada em vermelho abaixo.

Especificações

Faixa Espectral
• Padrão: 240-2500 nm
• Extensão +DUV: adiciona 193-240 nm
• Extensão +4IR: adiciona 2500-4000 nm (requer resfriamento com nitrogênio líquido)

Número de Comprimentos de Onda: Definido pelo usuário antes da medição

Ângulos de Incidência
• Totalmente automatizado
• Faixa: 15° a 90° (sistema padrão)
• Precisão: 0,01°

Taxa de Aquisição de Dados
• Típico: 0,1 a 3 segundos por comprimento de onda, dependendo da refletividade da amostra.
• Alta Precisão: medições usando a capacidade total do AutoRetarder requerem 20 segundos por comprimento de onda.

Espessura máxima do substrato: 20mm

Requisitos de Energia Elétrica: 100, 110, 220, 240 VAC, 50-60Hz, 4/8 Amperes

Software: WWASE

Fonte de Luz: Lâmpada de xenônio de 75 watts, resfriada por convecção

Options

Controle de Temperatura


Ao adicionar um criostato ou estágio de aquecimento ao VASE para estudos de temperatura variável, as medições podem ser realizadas em temperaturas tão baixas quanto 4,2K e tão altas quanto 1000°C.
• Estágio de Temperatura Básico (temperatura ambiente a 300°C)
• Estágio de Temperatura Padrão (-70°C a 600°C)
• Criostato (4,2/77 a 500 Kelvin ou 4,2/77 a 800 Kelvin)

Estudos de Líquidos


Células com janelas ópticas estão disponíveis para medição através de ambiente líquido, permitindo a caracterização da interface líquido/sólido. As opções incluem:
• Célula Eletroquímica de 45mL
• Célula Líquida de 270uL
• Célula Líquida de 5mL
• Célula de Prisma Líquido

Opções de Porta Amostra


Oferecemos uma variedade de porta amostra para acomodar suas necessidades de medição. Nossos estágios de amostra padrão e pequena são fornecidos com cada elipsômetro, enquanto os outros estão disponíveis como atualizações. As opções incluem:
• Estágio Padrão
• Translação Manual
• Estágio de Amostra Pequena
• Translação Automatizada
• Rotador de Amostra
• Estágio Auto-Z

Foco e Câmera


Adicione óptica de foco para diminuir o diâmetro do feixe de medição. Nossa opção de foco padrão fornece um diâmetro de feixe de 100 ?m. Nossa opção de foco alternativa fornece um diâmetro de feixe ligeiramente maior, de 200 ?m, mas pode ser usada durante as medições de transmissão. A óptica de foco é destacável para uso normal. Adicione uma câmera para visualizar o ponto de medição na amostra e melhorar o posicionamento do feixe.