GETec AFSEM Insert
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GETec AFSEM Insert

GETec

O AFSEM™ é um microscópio de força atômica (AFM) da GETec Microscopy, projetado para set integrado a um microscópio SEM ou Dualbeam (SEM/FIB). Seu design de acesso aberto lhe permite simultaneamente operar o SEM e o AFM dentro da câmara de vácuo do SEM. Os dados de imagem complementares do AFM e do SEM permitem uma caracterização única de sua amostra. A combinação de técnicas complementares é um fator chave para o sucesso em ganhar novas compreensões no mundo micro e nano. O AFSEM lhe permite combinar facilmente duas das técnicas de análise mais poderosas para expandir sua microscopia correlativa e suas possibilidades de análise.

Análise AFM in situ em seu SEM

As capacidades complementares de AFM e SEM permitem chegar a novas possibilidades de caracterização de suas amostras. AFSEM lhe permite simultaneamente criar a imagem de sua amostra em alta resolução, criar representações topográficas 3D verdadeiras, e medir alturas, distâncias e até mesmo propriedades do material, tudo isso enquanto se mantém o grande campo de visão SEM para posicionar seu cantiléver AFSEM exatamente onde você quiser. O fluxo de trabalho do AFSEM otimizado (sem praticamente qualquer redução do tempo ativo do SEM) garante a maior eficácia possível, enquanto o poderoso software de controle permite medições otimizadas e intuitivas, manuseio de sistema e análise de dados.

Análise Correlativa SEM-AFM

Para análise de material ou de produtos, o frequentemente se deseja analisar a amostra com várias técnicas e buscar correlações entre os parâmetros. Para técnicas de imageamento, como SEM e AFM, isto significa que se deve garantir a análise da mesma área. Há forma mais fácil de se realizar análise SEM-AFM do que realizar a medição AFM diretamente dentro do SEM?

Compatível com a maioria do SEMs sem comprometer sua operação normal. Encaixa-se na maioria dos sistemas SEM ou de feixe duplo (SEM/FIB): fica montado diretamente na porta da câmara do sistema, deixando o estágio inalterado. Além disso, o design estreito em combinação com cantilévers auto-detectantes exigem apenas 4.5 mm de espaço entre o pole shoe da coluna de elétrons e a amostra. Por consequência, o AFSEM é compatível com uma ampla gama de estágios padrões e opcionais, e pode manipular praticamente qualquer amostra que couber na câmara do sistema. Este design elegante permite a detecção de alturas de passo de ordem menor que o nanômetro no SEM.

Muitas técnicas de análise em paralelo com AFM e SEM

Visto que o design do AFSEM mantém completa funcionalidade de SEM, ele funciona e, conjunto com outras técnicas padrão de análise SEM, como FIB, FEBID e EDX. Além disso, uma vez que a amostra não é escaneada, estágios relativamente pesados ou especializados – por exemplo, para alongamento tênsil ou nano-indentação – podem ser combinados facilmente com o AFSEM.

Também do lado de AFM, vários modos estão disponíveis através de cantilévers auto-detectantes específicos – por exemplo, Imageamento Estático e Dinâmico, Contraste de Fase, Espectroscopia de Força, Modulação de Força e AFM Condutivo.

Manipulação intuitiva com tecnologia de cantilévers auto-detectantes
O AFSEM oferece máxima flexibilidade e posicionamento intuitivo. O estágio de ajuste inicial de 3 eixos move os cantilévers para dentro ou para fora do campo de visão do SEM e posiciona o cantiléver na área de interesse. O estágio SEM move a mostra lateralmente tanto para AFSEM quanto para SEM. Verticalmente, o AFM e a amostra se movem juntos, lhe permitindo mover a amostra para cima e para baixo com segurança sem colidir com o cantiléver do AFM.

Componentes e Acessórios do AFSEM

  • Cabeça de varredura AFSEM
  • Ferramental AFSEM (inclui uma seleção de cantilevers)
  • Estágio XYZ para cabeça de varredura AFSEM + adaptador específico para SEM e flange de feedthrough
  • Controle, Amplificador HV, Computador (todos em alojados em uma prateleira) + Software