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M-2000

J.A. Woollam

A linha M-2000® de elipsômetros espectroscópicos foi projetada para atender às diversas demandas da caracterização de filmes finos. Um design óptico avançado, ampla faixa espectral e aquisição de dados rápida se combinam em uma ferramenta extremamente poderosa e versátil.

O M-2000 oferece velocidade e precisão. Nossa tecnologia RCE patenteada combina Elipsometria de Compensador Rotativo com detecção CCD de alta velocidade para coletar todo o espectro (centenas de comprimentos de onda) em uma fração de segundo com uma ampla gama de configurações. O M-2000 é o primeiro elipsômetro a realmente se destacar em tudo, desde monitoramento in situ e controle de processo até mapeamento de uniformidade de grande área e caracterização de filmes finos de uso geral. Nenhuma outra tecnologia de elipsômetro adquire um espectro completo mais rápido.

Aplicações

• Revestimentos Ópticos
• Química/Biologia
• Condutores Orgânicos
• Semicondutores
• Fotovoltaicos
• In-Situ
• Display
• Refletância e Transmitância de Intensidade
• Anisotropia
• Matriz de Mueller
• Despolarização

Recursos

Tecnologia Avançada de Elipsômetro: O M-2000 utiliza nossa tecnologia RCE patenteada (elipsômetro de compensador rotativo) para alcançar alta precisão e exatidão.

Detecção Espectral Rápida: O design RCE é compatível com detecção CCD avançada e comprovada para medir TODOS os comprimentos de onda simultaneamente.

Ampla Faixa Espectral: Colete mais de 700 comprimentos de onda do ultravioleta ao infravermelho próximo – tudo simultaneamente.

Integração Flexível do Sistema: Com design óptico modular, o M-2000 é adequado para fixação direta à sua câmara de processo ou configurado em qualquer uma de nossas bases de mesa.

Precisão: O design avançado garante medições de elipsometria precisas para qualquer amostra.

Especificações

• Faixa de Comprimento de Onda:

M2000V
M2000VI
M2000U
M2000UI
M2000X-210
M2000XI-210
M2000D
M2000DI

370-1000nm, 390 comprimentos de onda
1690nm, 580 comprimentos de onda
1000nm, 470 comprimentos de onda
1690nm, 660 comprimentos de onda
1000nm, 485 comprimentos de onda
1690nm, 675 comprimentos de onda
1000nm, 500 comprimentos de onda
1690nm, 690 comprimentos de onda

• Faixa de Ângulo:
     Ângulo Fixo: 65°
     Ângulo Automático Horizontal: 45° - 90°
     Ângulo Automático Vertical: 20° - 90°

• Visão Geral do Sistema:
     Elipsometria de compensador rotativo patenteada, detecção CCD simultânea de todos os comprimentos de onda, integração flexível do sistema

• Taxa de Aquisição de Dados:
     Dados coletados 20 vezes por segundo. Para relação sinal-ruído ideal, os tempos de medição típicos para espectro completo são entre 0,5 e 5 segundos

Opções

Mapeamento

Mapeie a uniformidade do filme fino e outras propriedades. Opções de mapeamento controlado por computador ou manual disponíveis. Disponível em tamanhos desde pequenas amostras que requerem medições focadas até grandes painéis de vidro de display plano.

Foco e Câmera

Adicione óptica de foco para reduzir o diâmetro do feixe. A óptica de foco padrão é destacável para uso normal. Opção de câmera também disponível para visualizar a localização do ponto na amostra.

Alinhamento Automatizado

As opções de inclinação e altura da amostra automatizadas por computador fornecem alinhamento de amostra rápido e sem esforço.

Transmissão

Acessórios de transmissão estão disponíveis para sistemas M-2000 horizontais para segurar amostras verticalmente no caminho do feixe de luz. Opções de incidência normal ou ângulo variável disponíveis.

Rotação da Amostra

Opções controladas por computador e manuais disponíveis para girar a amostra 360°. Útil ao estudar anisotropia.

Estudos de Líquidos

Adicione uma célula com janelas ópticas para medição através de ambiente líquido. Monitore a interface líquido/sólido em tempo real. Opções com controle de temperatura disponíveis.

Controle de Temperatura

Adicione um estágio de aquecimento ou criostato para estudos de temperatura variável. Meça amostras em temperaturas baixas e elevadas.

Mandril de Amostra Porosa