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µAligner
Mutech Microsystems
A Mutech oferece projetos, sistemas e equipamentos para a promoção da ciência, tecnologia e educação nas áreas de microfabricação, micro e nanomecânica e eletrônica. A empresa está interessada em promover, através do desenvolvimento e comercialização de equipamentos de alta tecnologia, a formação de recursos humanos de qualidade, simplificar a geração de novos conhecimentos e melhorar o acesso do setor produtivo a novas tecnologias.O µAligner é um alinhador de máscaras UV compacto e de alto valor, projetado para aplicações de microfabricação. Ele permite a fabricação fácil de dispositivos multicamadas em uma variedade de fotorresistentes, com excelente qualidade de exposição. O controle fácil de usar, baseado em tela sensível ao toque de 7 polegadas, permite ao usuário alinhar usando o microscópio digital calibrado e o estágio de alinhamento baseado em micrômetro X-Y-R. O controle totalmente eletrônico da pressão e do espaço da bolacha permite um alinhamento fácil e uma repetibilidade muito alta das condições de exposição entre os processos.
Aplicações
O microAligner é ideal para a fabricação de sistemas de alto nível para aplicações de pesquisa. As principais aplicações variam de microfluídica, óptica e biotecnologia a dispositivos microeletrônicos.Ele fornece ao usuário capacidades rápidas de fabricação de dispositivos multicamadas, graças ao seu alinhamento de alta resolução e alta precisão.
Fonte de LED
O microAligner, alinhador de máscaras compacto, tem requisitos de manutenção muito baixos, graças à sua fonte baseada em LED. Ele fornece luz UV de 365 nm com uma vida útil muito longa, sem tempos de aquecimento, ligação instantânea e sem calor, com excelente homogeneidade e baixa divergência.
Recursos
• Comprimento de onda de 365 nm• Fonte de LED fria de longa duração, sem aquecimento
• Divergência muito baixa e alta homogeneidade
• Microscópio digital calibrado Full HD com iluminação amarela coaxial de 590 nm
• Controle eletrônico da pressão e do espaço da bolacha
• Estágio de alinhamento da bolacha X-Y-R baseado em micrômetro
• Controle baseado em tela sensível ao toque capacitiva de 7 polegadas
• Fotomascaras de até 5 polegadas com suportes de máscara intercambiáveis
• Abertura UV de 100 mm de diâmetro
Especificações
| Mecânica | |
| Estágio de alinhamento X-Y-R | |
| Tipo de controle | Mecânico, baseado em micrômetro |
| Precisão | 1µm |
| Alcance de alinhamento X-Y | 6mm |
| Alcance de alinhamento R | 5° |
| Estágio Z | |
| Tipo de controle | Motorizado |
| Passo do estágio | 0.31µm/step |
| Resolução de detecção de pressão | 20g |
| Pressão máxima | 5kg |
| Codificador rotativo de 60 mm para controle preciso de espaço/pressão | |
| Detecção de pressão do wafer com feedback ao vivo para alta repetibilidade entre os processos | |
| Suportes de fotomáscaras baseados em vácuo intercambiáveis para fotomáscaras quadradas de 2”,3”,4”,5” e lâminas de microscópio | |
| Óptica UV | |
| Comprimento de onda | 365nm |
| Tempo de exposição | 0.1 - 200 s |
| Área de exposição | 100mm diameter |
| Densidade de potência | 0.2 - 20 mW/cm^2 |
| Homogeneidade | < 5% |
| Divergência da luz | < 3° |
| Movimento motorizado entre os modos de alinhamento e exposição | |
| Microscópio | |
| Resolução da câmera | 1920x1080 |
| Iluminação auxiliar | LED amarelo coaxial de 590 nm |
| Modo de iluminação de campo | Iluminação de campo claro |
| Técnica de alinhamento | Alinhamento superior, câmera única |
| Movimento | 3 eixos, estágio manual XYZ independente |
| Objetivas incluídas | |
| Objetiva | Ampliação efetiva na tela |
| Baixa ampliaçãog | 90x |
| Ampliação média | 315x |
| Alta ampliação | 480x |
| Eletrônica | |
| Tela | LCD colorido de 7" |
| Controle do usuário | Tela sensível ao toque capacitiva para controles da máquina e microscópio. |
| Computador integrado baseado em ARM Cortex de 32 bits para máxima compactação | |
| Dimensões | |
| Tamanho | 350x490x470 mm |
| Peso | 19kg |
| Potência | 110v/220v 250W |
