µExposer
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µExposer

Mutech Microsystems

A Mutech oferece projetos, sistemas e equipamentos para a promoção da ciência, tecnologia e educação nas áreas de microfabricação, micro e nanomecânica e eletrônica. A empresa está interessada em promover, através do desenvolvimento e comercialização de equipamentos de alta tecnologia, a formação de recursos humanos de qualidade, simplificar a geração de novos conhecimentos e melhorar o acesso do setor produtivo a novas tecnologias.

O µExposer é um sistema de exposição UV de alto valor projetado para aplicações de microfabricação. Ele permite ao usuário realizar processos de litografia rápidos em amostras e substratos. O sistema consiste em uma fonte de luz LED paralela UV de 365 nm e uma bandeja deslizante onde você pode colocar sua máscara de fotolitografia e amostra para expor. Uma variedade de suportes personalizados e customizações podem ser fornecidos para sua aplicação.

Aplicações

O microExposer é um sistema robusto (estrutura de corpo todo em metal), especialmente projetado para fácil utilização, baixos requisitos de manutenção e fabricação rápida de dispositivos de camada única. Suportes de amostras personalizados podem ser encomendados para substratos e amostras especiais, como substratos não planos ou flexíveis. O microExposer é ideal para dimensionar da fabricação em laboratório para produção comercial de baixo volume.







Recursos

• Fonte de luz baseada em LED de longa duração
• Óptica de luz paralela
• Comprimento de onda de 365 nm
• Até bolachas de 4 polegadas podem ser expostas
• Navegação baseada em contexto com botões e um codificador rotativo
• Muito robusto e fácil de usar
• Altamente personalizável para cenários de uso específicos

Especificações

Óptica
Comprimento de onda365±5nm
Tempo de exposição0.1 - 100 s
Área de exposição100mm de diâmetro
Densidade de potência0.2 - 20 mW/cm^2
Homogeneidade< 5%
Divergência da luz< 2°
Mecânica
Tamanho220x230x320 mm
Peso9kg
Potência110v/220v 50w